光学自由曲面的检测方法

qwe066104

楼主不知道加工大的自由曲面镜，量测的精度现在能达到多少？

ZEMAXEE

CGH应该可以发挥作用

oyr812

刚好看到这一块，图片来自《自由曲面在大视场红外相机中的研究 》作者 周鑫

mping712

xiaocao228 发表于 2018-12-29 09:32
我是小白，刚开始学，不好意思 ，回答不了您的问题，见谅！

大的自由曲面量测精度需求是要看你的量测物品是用在哪?

要用接触式的还是非接触式的光学量测仪器?

以非接触量测仪器来讲 造型的自由曲面或ㄧ般的面型量测10um精度即可，光学镜片的的量测精度要求约1um以下。

joker9067

這需要看斜率來決定
斜率最大角度55度以上，PV=0.15um
斜率最大角度30度~55度，PV=0.012um
斜率最大角度30度以下，PV=0.01um
CA越大量測公差也會越大

sylvius

不久前看过一篇自由曲面检测的论文，这里分享一下。
摘要：文章回顾了近年来的自由曲面检测发展历程，对目前主流的非接触式检测方法( 微透镜阵列法，结构光三维检测法，相干层析术，干涉检测法) 进行了重点介绍；总结了非球面检测方法运用到自由曲面检测中的技术难点，同时结合这些技术难点，展望了自由曲面检测的未来发展新趋势，主要集中在非旋转对称像差的动态补偿、分区域像差的回程误差校准及子孔径拼接技术。

wty10449

1、用常规的二维轮廓仪无法实现非旋转对称的自由曲面检测。
2、用三坐标（计量型精度也只有零点几微米）精度不够，只能在铣削和研磨阶段使用。
3、三维轮廓仪或者是CGH才能够实现对超精密加工阶段面型的检测，或者采用子孔径拼接的方法进行检测。