各位老哥，有做激光干涉测试服务的厂商推荐吗

excavator · 发表于 2025-9-19 09:38

想测一个Φ30的标准平面面型，z向精度0.5nm，xy精度<10um，也就是分辨率要大于3000*3000

有激光干涉仪厂商能做相关测试服务吗，求推荐

Theo.Luo · 发表于 2025-9-19 13:24

你这要用白光干涉仪（轮廓仪）拼接测试啊

excavator · 发表于 2025-9-19 14:16

Theo.Luo 发表于 2025-9-19 13:24
你这要用白光干涉仪（轮廓仪）拼接测试啊

这个方法我正在用，感觉白光干涉拼接误差可能都不止0.5nm了

所以想找个一次全视场的方法对比下

Theo.Luo · 发表于 2025-9-19 16:19

excavator 发表于 2025-9-19 14:16
这个方法我正在用，感觉白光干涉拼接误差可能都不止0.5nm了

所以想找个一次全视场的方法对比下

可以选不同的干涉物镜啊，低倍的视场大一点。如果还不行，那是不是只能原子力显微镜

gmm520530 · 发表于 2025-10-13 19:32

我这有ZYGO的干涉仪，应该分辨率是满足你的需求的

excavator · 发表于 2025-10-14 10:42

gmm520530 发表于 2025-10-13 19:32
我这有ZYGO的干涉仪，应该分辨率是满足你的需求的

老哥，怎么联系你
或者麻烦给我打电话 136 8681 2934

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