zemax 自定义面型，模拟DOE实际加工中带台阶的情况

yiqi

可以生成带台阶的zemax面型来模拟实际加工的doe面型，如图所示

将文件放入 文档/Zemax/DLL/Surfaces里
使用方式和二元面2类似，圆锥系数，偶次非球面系数和相位系数位置与二元面2系数位置一致；
diffract order表示相位带来的台阶方向，一般镜片第一面填-1，第二面填1；
step height代表台阶深度，和波长和材料折射率有关，单位um；
norm radius代表相位的归一化系数，可以成比例缩放相位面半径来调控台阶位置；
diff step h代表实际台阶和理想台阶差值，单位um。
使用该dll后，查看性能应该看惠更斯MTF。

dhf19822

你这个是菲涅耳还是DOE? DOE的话面型显示，齿密度太大会失真

yiqi

dhf19822 发表于 2025-9-1 03:50
你这个是菲涅耳还是DOE? DOE的话面型显示，齿密度太大会失真

是DOE，根据相位把相应的矢高切掉；台阶太多layout确实会失真，但是去看矢高截面图，把采样调高我这里案例看是没问题的