关于检测系统的波前问题

张灵风

问一下大家，干涉仪检测系统的波前拟合出来的Zernike系数，为什么我的老师说前四项是测不准的。我查了很多论文，也没找到相关的。如果有清楚这个问题的朋友，请帮我详细解释一下，万分感谢。

kangsirui

是的，测不准的原因是前四项是周期性测量，没有一个绝对的零位，无法知道他经历几个周期，所以测不准。当然，现在也有一些测量设备对此做了改进，增加了绝对零位参考点，可以进行相关测量，精度取决于校准精度哈。

hs123xxx

前四项是厚度间隔、X方向倾斜、Y方向倾斜、球面偏差
这四项取决于镜片有没有放在理论最佳位置，如果和理论最佳位置有偏差，就会产生误差
其实前四项也不重要，干涉仪主要解决的问题是测量镜片的面型局部误差
镜片R值，用球径仪测试
镜片偏心，用定心仪测试

张灵风

kangsirui 发表于 2025-7-1 10:09
是的，测不准的原因是前四项是周期性测量，没有一个绝对的零位，无法知道他经历几个周期，所以测不准。当然 ...

感谢回复，那就是实际上不能检测出和zemax中一样的Zernike系数是吗，或者Zemax中的Zernike前三项是怎么获得的

kangsirui

张灵风 发表于 2025-7-2 14:52
感谢回复，那就是实际上不能检测出和zemax中一样的Zernike系数是吗，或者Zemax中的Zernike前三项是怎么获 ...

你很关注方向性的东西吗？这个测准的意义不太大，这个倾斜在我看来就是远心而已，可以用别的方式进行测量；如果是调像质那你可以参考后续的项数，泽妮可系数每一项都是互不影响的。