显微物镜公差分析

LIJHao.

MTF接近于衍射极限的显微物镜在进行公差分析时，分析标准应该选择哪个？尝试了RMS光斑半径、RMS波前和衍射平均MTF，但是出来的结果都比较差。请问是选择的评价标准不对吗还是需要进一步减少公差等级。

金木研

超大光圈显微镜吗？光圈越大公差要求一般越严，后焦补偿和偏心调节补偿别忘了加上。一般是RMS波前和衍射平均MTF二选一，看加工商是用干涉仪检测还是用传函仪检测

匍匐前进

金木研 发表于 2025-6-30 09:01
超大光圈显微镜吗？光圈越大公差要求一般越严，后焦补偿和偏心调节补偿别忘了加上。一般是RMS波前和衍射平 ...

哥，请教您个问题。这个评价函数选择波前还是传函有什么必要的要求吗？比如说那种镜头要用传函，哪种镜头要用波前？我理解的理论上波前好传函也好，这两个应该是一致的。但是实际跑公差的时候发现，波前和传函的良率差异挺大的，而且敏感项也有很明显的差异，这是什么原因，理论上不是应该一致的嘛？

金木研

匍匐前进 发表于 2025-6-30 09:06
哥，请教您个问题。这个评价函数选择波前还是传函有什么必要的要求吗？比如说那种镜头要用传函，哪种镜头 ...

先跑MTF看下良率合不合格，然后再用同样的公差等级跑波前，把波前合格值发给加工商

匍匐前进

金木研 发表于 2025-6-30 09:11
先跑MTF看下良率合不合格，然后再用同样的公差等级跑波前，把波前合格值发给加工商
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哥，我表达错了。我意思公差分析中评价目标选择波前还是几何MTF，哪个更准一些呢？我现在分析这两个差异挺明显的

金木研

匍匐前进 发表于 2025-6-30 09:37
哥，我表达错了。我意思公差分析中评价目标选择波前还是几何MTF，哪个更准一些呢？我现在分析这两个差异 ...

衍射MTF

大白小帅

匍匐前进 发表于 2025-6-30 09:37
哥，我表达错了。我意思公差分析中评价目标选择波前还是几何MTF，哪个更准一些呢？我现在分析这两个差异 ...

看你需求，显微镜很多都是衍射极限，大部分会要求波前干涉，看需求，MTF是固定需求，波前为主

LIJHao.

金木研 发表于 2025-6-30 09:01
超大光圈显微镜吗？光圈越大公差要求一般越严，后焦补偿和偏心调节补偿别忘了加上。一般是RMS波前和衍射平 ...

是的，超大光圈，各种公差等级都分析了下。只有Q2等级才勉强合格。

金木研

LIJHao. 发表于 2025-6-30 09:47
是的，超大光圈，各种公差等级都分析了下。只有Q2等级才勉强合格。

中上等加工商精密加工的水平一般是这样：光圈一个圈（或半个圈），镜片厚度5um，空气间隔0.01mm（或5um），等厚差0.5′，局部光圈0.1fr，胶合滚边公差0.5′，装配倾斜0.5′，装配偏心0.01mm（或5um）。折射率和阿贝数可以先用成都光明定制料的0.0002和0.3%试一下（精退火材料可以设置0.0001和0.2%），如果还是有影响就用肖特、小原或豪雅的定制材料，折射率和阿贝数不设置公差。偏心调节补偿设置装配偏心影响大的镜片，如果镜片数量少可以不设置光圈公差，加工完一片测量曲率半径后回带进系统优化一下，镜片厚度也同理

LIJHao.

金木研 发表于 2025-6-30 10:11
中上等加工商精密加工的水平一般是这样：光圈一个圈（或半个圈），镜片厚度5um，空气间隔0.01mm（或5um） ...

好的谢谢，我后面再多试试