点列图中的衍射极限求助

金表照亮黑暗

目前设计了一个镜头，在所有视场内均点列图半径均小于艾里斑半径。比如艾里斑半径为20um,那点列图中光斑大小为1um和10um在最后实际成像系统中会有区别吗？

lsyyds

这种情况看点列图已经没有参考意义了，看波像差。

金表照亮黑暗

lsyyds 发表于 2025-4-29 04:06
这种情况看点列图已经没有参考意义了，看波像差。

那请问这个的评判标准是什么？我应该看PV值还是RMS值？ 目前轴上视场PV=0.07波，RMS=0.02波；最大视场PV=0.44波，RMS=0.1波。

cfzy

金表照亮黑暗 发表于 2025-4-29 06:17
那请问这个的评判标准是什么？我应该看PV值还是RMS值？ 目前轴上视场PV=0.07波，RMS=0.02波；最大视场PV= ...

看成像系统的波前PV，成像系统波前pV优于0.25λ，就可以认为系统优化好了

lsyyds

金表照亮黑暗 发表于 2025-4-29 06:17
那请问这个的评判标准是什么？我应该看PV值还是RMS值？ 目前轴上视场PV=0.07波，RMS=0.02波；最大视场PV= ...

不同的系统要求的波像差不同的，如果按瑞利判据那就是pv小于四分之一波长。但像DUV光刻物镜的波像差就要求更高了，比如RMS小于0.5nm，RMS比PV更严谨一些，用的更多。如果只是一般的成像镜头（没到衍射极限），看MTF在多少线对下的对比度高于多少就可以了。