想请教一下在zemax中怎么设置出用于光刻的反射式掩膜

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是一定需要用cad设计吗，还是说zemax中有什么简单的设计方式

光芒万丈的我xjj

掩模版的图案设计的话和ZEMAX没啥关系吧，直接CAD画图不就行了，画好图之后拿去加工。反射还是透射图案和你的设计方式和照明方式有关，铬层部分反射，非铬层透射。用同轴光、环形光光和用背光，图案背景底色不同。是明场和暗场照明的区别，看你的需求。