[已解决]衍射面加工

Zuuio

大家好，我想问根据phaseplot图看加工情况的问题，我想请教这个图该怎么看。以我的图为例，我也看了别人论文中的图大致意思是看红线的纵坐标，我的大约是不到五十按45计算，当口径从0到4.31时，没毫米内周期数增加至45个，对应的最小周期为22.2um。一般一个周期内加工8个台阶，单个台阶宽度为2.7um，我这样的理解对吗？满足加工要求吗？还是说加工只分析最小线宽，我的最小环带从宏文件运行出来的情况看是最小线宽为1.43mm，看人家说大于2um就可以。

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ZEMIN

2025-4-21 09:43

PhasePlot 创建一个图形，显示二元面的相位以及相位斜率的倒数。图形显示表面半口径的相位图。而phases显示的是每个衍射环带的位置，一般看衍射环带密度不小于2um就客可以加工。

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ZEMIN

PhasePlot 创建一个图形，显示二元面的相位以及相位斜率的倒数。图形显示表面半口径的相位图。而phases显示的是每个衍射环带的位置，一般看衍射环带密度不小于2um就客可以加工。

Zuuio

ZEMIN 发表于 2025-4-21 09:43
PhasePlot 创建一个图形，显示二元面的相位以及相位斜率的倒数。图形显示表面半口径的相位图。而phases显示 ...

谢谢您，我大致理解了。但是我还有一个问题，我看的论文中他们会放置phaseplot图像对衍射元件进行加工可行性分析，比如图1和2中所描述的最小最小特征线宽为15.7um、特征线宽为6.9um，符合单点金刚石车削的加工条件。我想问的是现在的单点金刚石车床真的是能达到这个几微米的程度吗？

小黑星

这样真的没问题吗？zemax的相位数据都不包含衍射效率，如果你需要的级次效率太低也白搭啊

ZEMIN

Zuuio 发表于 2025-4-21 18:31
谢谢您，我大致理解了。但是我还有一个问题，我看的论文中他们会放置phaseplot图像对衍射元件进行加工可 ...

单点金刚石车床主轴的精度是很高的一般都能达到0.2um，但是一般实际用的时候都是以2um为单位步进的，所以2um就是这太单点车的特征线宽。然后phases运行出来的环带间隔最好也不能太小，最好是大于0.5mm。然后环带数量太多，达到了大几十个的话，还需要评估刀具的寿命问题，一般都没事。有用的话请采纳一下。

Zuuio

ZEMIN 发表于 2025-4-22 16:38
单点金刚石车床主轴的精度是很高的一般都能达到0.2um，但是一般实际用的时候都是以2um为单位步进的，所以2 ...

好的，谢谢您的解答