一款NA1.35的光刻镜头

otsoul · 发表于 2024-3-17 15:19

分享我复现的一款光刻镜头，这里给出codev和zemax的压缩包，镜头的设计很巧妙，放大率是0.25

同轴结构，离轴视场，使用了两个反射镜，结构很巧妙

可以达到9000线对

白云飞飞飞 · 发表于 2024-3-17 15:35

看您这个中间有两处是反射镜，光线怎么就穿过去了呢

daniellsun · 发表于 2024-3-17 20:54

这是DUV光刻镜头，最高支持14nm工艺？

JXJ_CC · 发表于 2024-3-18 10:20

白云飞飞飞发表于 2024-3-17 15:35
看您这个中间有两处是反射镜，光线怎么就穿过去了呢

序列模式吧

otsoul · 发表于 2024-3-18 12:25

白云飞飞飞发表于 2024-3-17 15:35
看您这个中间有两处是反射镜，光线怎么就穿过去了呢

没有发生反射的地方挖孔镂空就可以了，只是没有设置孔径而已

otsoul · 发表于 2024-3-18 12:26

daniellsun 发表于 2024-3-17 20:54
这是DUV光刻镜头，最高支持14nm工艺？

193nm的波长，算了一下艾里斑90多nm，工艺上事的我不是很懂

otsoul · 发表于 2024-3-18 12:30

售价2金币只是为了用金币换3个积分，积分够了就不会再收金币了

daniellsun · 发表于 2024-3-18 13:18

otsoul 发表于 2024-3-18 12:26
193nm的波长，算了一下艾里斑90多nm，工艺上事的我不是很懂

台积电14nm的最小栅格间距是70nm。极限分辨下系数k1可以按0.25算，正好半间距=0.25*193/1.35=35.7nm

小谈人生 · 发表于 2024-3-18 13:58

SIO2V.ZTG，没有这个玻璃库

songshaoman · 发表于 2024-3-18 15:30

后焦距物距有什么标准么？光源线宽多少？视场多大？参考的专利么？有没有实际需求？

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