深紫外的光刻物镜内部通常会充保护气体

holzes · 发表于 2024-3-11 08:52

深紫外的光刻物镜内部通常会充保护气体，这种保护气体的作用是什么？

Te一谙田 · 发表于 2024-3-11 11:18

因为可见光下惰性的材料在高能量的紫外光下会析出物质，这种物质会相互反应或者与光学表面的镀膜反应，从而污染光学元件，降低成像质量。

Dolleon · 发表于 2024-3-11 11:46

在楼上的答案补充一下，根据光刻机专利所述：是为了在待保护物镜与物镜保护装置之间形成稳定的正压区域，保证了光刻胶被紫外线曝光产生的气体和颗粒污染物无法流入该正压区域；

另一种可能，激光焊接保护气就是类似激光焊接的那种，减少聚焦形成的高能量密度的紫外光将镜筒内部的空气极化形成等离子体，而常见空气形成的等离子体对光束起到发散作用，也就是有点类似一个凹透镜一样干扰光束质量

还有一种可能，是在镜筒内部填充保护气体避免里面的物体比如可能存在的有机垫圈或者其他金属组件在紫外作用下和空气中的氧气加快反应而老化。

Te一谙田 · 发表于 2024-3-11 13:46

Dolleon 发表于 2024-3-11 11:46
在楼上的答案补充一下，根据光刻机专利所述：是为了在待保护物镜与物镜保护装置之间形成稳定的正压区域，保 ...

对的，最重要的还是保护光学系统不被高能量紫外光照射下产生的其他物质所污染。

holzes · 发表于 2024-3-11 13:48

感谢楼上二位的答疑

白云飞飞飞 · 发表于 2024-3-15 13:15

一般是氮气

napoleonljw · 发表于 2024-3-28 13:45

深紫外激光会被空气中的氧分子吸收导致输出能量下降，一般充入氮气作为保护气体

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深紫外的光刻物镜内部通常会充保护气体

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