反射式偏心测量样品摆放要求

灰人xx

进行反射式偏心测量时发现，样品的摆放会对测量结果产生较大的影响，请问在进行反射式偏心测量时对产品的摆放具体有什么要求，为什么会有这样的要求

菜鸡一个

摆放要求原则上是样品的光轴与测量设备的光轴要同轴，及倾斜和偏移都要同轴。一般设备操作时会要求校准载物台的倾斜和偏移。无论是透射或者反射式测偏心，都是将平行光束聚焦到焦平面上（透视式）或者表面的曲率中心处（反射式），然后旋转被测样品。若有中心偏出现，聚焦的像的旋转轨迹会画出一个圆 这个圆的直径与中心偏的大小是成比例的

灰人xx

菜鸡一个 发表于 2024-1-31 10:16
摆放要求原则上是样品的光轴与测量设备的光轴要同轴，及倾斜和偏移都要同轴。一般设备操作时会要求校准载物 ...

为什么要求要同轴呢，我理解反射式测的是各个表面球心相对于基准轴的距离，然后这个距离是由旋转画圆决定的，只要测出的每个球心都是准确的，那不就可以计算样品的偏心量吗，光轴的不同轴会对球心位置的计算有影响吗？

菜鸡一个

灰人xx 发表于 2024-2-2 10:31
为什么要求要同轴呢，我理解反射式测的是各个表面球心相对于基准轴的距离，然后这个距离是由旋转画圆决定 ...

偏心值是以器件光轴为参考轴的。因此肯定是以器件光轴作为旋转轴画圆才能准确测量偏心值。按照离谱点的来分析，如果器件光轴偏了45°，画出来的圆不就会大了很大一圈