关于无限远显微物镜的后焦面控制问题

silence唯爱

个人有点不明白哈，为什么要控制后焦面呢？一般这种无限远显微镜头，都是要求的工作距，没有对后焦面的要求吧，个人疑问

有色金属

silence唯爱 发表于 2023-11-1 10:23
个人有点不明白哈，为什么要控制后焦面呢？一般这种无限远显微镜头，都是要求的工作距，没有对后焦面的要求 ...

是要做图案晶圆缺陷检测，在其频谱域做滤波，滤掉比如光栅的周期信号，只保留缺陷的信号。

silence唯爱

有色金属 发表于 2023-11-1 19:10
是要做图案晶圆缺陷检测，在其频谱域做滤波，滤掉比如光栅的周期信号，只保留缺陷的信号。

学到了，多谢回复。好像目前晶圆检测挺火的，是个好方向

有色金属

zemax如何将某一个面设置在透镜组前后焦面上？ - ZEMAX - 吾爱光设 - Powered by Discuz! (optzmx.com)
我先是在社区内找到这个帖子，这个梯子提到了codeV自带的firABCD矩阵可以算出前后焦面，我去codev进行了验证确实可以，不过这款软件我使用不太熟练，就暂时放弃，还是继续用zemax。
为了解决这个问题，查找了ABCD矩阵的计算方式，实际上就是几何光学的近轴光线追迹法，具体参考下面的知乎的链接。
几何光学讲义：近轴光线追迹之ABCD矩阵 - 知乎 (zhihu.com)
根据这篇知乎的内容我也自编了matlab代码对自己的光学系统进行验证，然后zemax中好像没有矩阵运算，我就根据社区中另一篇帖子写了一个自定义宏操作数，具体参照下面的帖子。
如何写自定义的优化操作数 - ZEMAX - 吾爱光设 - Powered by Discuz! (optzmx.com)
操作数为ZPLM 10 0表示后焦面，1表示前焦面。


可以看到前焦面和系统报告中的数据几乎接近，后焦面也就是我系统的工作距离15mm，系统报告中的后焦面是根据最后的像面计算的。