波像差检测中检测波长与系统设计波长不匹配问题该如何解决？

phase

目前没有找到太多的相关资料，阅读了几篇论文，但是不了解一般都是如何解决这个问题的？一般干涉仪使用波长在632波段吧，系统使用的是单色波在532nm，如何用干涉仪的检测结果来与系统真实结果对应上，来辅助装调？

Maxray

一般来说对于一个确定的系统，不同波长的zernike各项系数会有一个简单的线性关系，这个关系需要你做公差分析去找，分别在不同波长下分析，去拟合对应的系数关系式

Ds12345679

He-Ne氦氖激光器用在干涉仪上的时间比较早，使用的比较普遍。因此632.8nm是常规的检测波长。红宝石激光器或者钇铝石榴石晶体都发出波长1064nm的激光，也是常用的近红外激光。半波532是可见光，用它的波前差可以知道整个系统的像差。632.8比532长了1.189倍，用6323.8测量的数据乘以1.189就是532的波前数据。比如测量pv=0.21，换算532波长PV=0.249≈0.25，也就是 1/4波长，像差在瑞丽判据范围，产品像质合格。

莫说废话

Ds12345679 发表于 2023-1-20 08:19
He-Ne氦氖激光器用在干涉仪上的时间比较早，使用的比较普遍。因此632.8nm是常规的检测波长。红宝石激光器或 ...

请问是镀膜前，对面型检测，还是镀膜后，将镀膜影响也一起考虑在内检测呢？

Ds12345679

面型检验在镀膜之前。镀膜还要清擦基底表面，镀膜时还要烘膜，这些都影响面型。减反射膜的厚度很薄，只有波长的1/4。膜层均匀性还有要求，所以厚度影响可以忽略。如果镀膜后面型不合格，那么，一定是镀膜工艺出了问题。比如烘膜温度过高；用氧化锌或者碳酸钙清擦基底时在一处过度处理。

莫说废话

Ds12345679 发表于 2023-1-21 06:53
面型检验在镀膜之前。镀膜还要清擦基底表面，镀膜时还要烘膜，这些都影响面型。减反射膜的厚度很薄，只有波 ...

那请问您，镀膜后还需要进行检验吗

Ds12345679

一般不用检测面型误差，