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波像差检测中检测波长与系统设计波长不匹配问题该如何解决?

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小白

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发表于 2023-1-18 20:38 | 显示全部楼层 |阅读模式
目前没有找到太多的相关资料,阅读了几篇论文,但是不了解一般都是如何解决这个问题的?一般干涉仪使用波长在632波段吧,系统使用的是单色波在532nm,如何用干涉仪的检测结果来与系统真实结果对应上,来辅助装调?

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发表于 2023-1-18 21:13 | 显示全部楼层
一般来说对于一个确定的系统,不同波长的zernike各项系数会有一个简单的线性关系,这个关系需要你做公差分析去找,分别在不同波长下分析,去拟合对应的系数关系式
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发表于 2023-1-20 08:19 | 显示全部楼层
He-Ne氦氖激光器用在干涉仪上的时间比较早,使用的比较普遍。因此632.8nm是常规的检测波长。红宝石激光器或者钇铝石榴石晶体都发出波长1064nm的激光,也是常用的近红外激光。半波532是可见光,用它的波前差可以知道整个系统的像差。632.8比532长了1.189倍,用6323.8测量的数据乘以1.189就是532的波前数据。比如测量pv=0.21,换算532波长PV=0.249≈0.25,也就是 1/4波长,像差在瑞丽判据范围,产品像质合格。
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发表于 2023-1-20 17:06 | 显示全部楼层
Ds12345679 发表于 2023-1-20 08:19
He-Ne氦氖激光器用在干涉仪上的时间比较早,使用的比较普遍。因此632.8nm是常规的检测波长。红宝石激光器或 ...

请问是镀膜前,对面型检测,还是镀膜后,将镀膜影响也一起考虑在内检测呢?
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发表于 2023-1-21 06:53 | 显示全部楼层
面型检验在镀膜之前。镀膜还要清擦基底表面,镀膜时还要烘膜,这些都影响面型。减反射膜的厚度很薄,只有波长的1/4。膜层均匀性还有要求,所以厚度影响可以忽略。如果镀膜后面型不合格,那么,一定是镀膜工艺出了问题。比如烘膜温度过高;用氧化锌或者碳酸钙清擦基底时在一处过度处理。
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发表于 2023-1-21 16:00 | 显示全部楼层
Ds12345679 发表于 2023-1-21 06:53
面型检验在镀膜之前。镀膜还要清擦基底表面,镀膜时还要烘膜,这些都影响面型。减反射膜的厚度很薄,只有波 ...

那请问您,镀膜后还需要进行检验吗
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发表于 2023-1-22 09:36 | 显示全部楼层
一般不用检测面型误差,
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