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求教laytec通过光谱实现测温的原理

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    开心
    2023-2-24 18:21
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    [LV.3]偶尔看看II

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    小白

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    发表于 2022-8-8 17:11 | 显示全部楼层 |阅读模式
    看到Laytec公司做的EpiTT测量系统,里面提到用激光对晶圆生长进行原位监测,并且可以得到温度信息。想请教有人了解这个Laytec的这个测温原理吗?或者有相关论文推荐吗?很感兴趣,想了解一下
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