[已解决]求教均匀照明的不均匀性指标问题

Oeback · 发表于 2022-2-28 09:57

在35mm*35mm实现均匀紫外照明，照度均匀度达到85%、90%、95%，98.5%，各自的难点在于什么地方？现有技术都可以做的什么程度？请各位大佬测教。网上查了一些资料都说均匀性做的比较好，但基本没有可量化的数据指标

最佳答案

zoubois

2022-2-28 10:57

95%到98.5%是一个很高的门槛

zoubois · 发表于 2022-2-28 10:57

95%到98.5%是一个很高的门槛

hunter123 · 发表于 2022-2-28 13:45

你是做光刻机照明吗

Misszy · 发表于 2022-2-28 14:01

均匀性数值，其实还与你均匀性计算方式有关,我们采用的是画面最小除以最大，一般实测中80%以上就可以了，设计的时候需要留点余量，加工会导致实际偏低

Oeback · 发表于 2022-3-2 08:41

zoubois 发表于 2022-2-28 10:57
95%到98.5%是一个很高的门槛

谢谢啊，那这个门槛相对80~90%,匀光系统难点突出在什么地方呢？

Oeback · 发表于 2022-3-2 08:42

hunter123 发表于 2022-2-28 13:45
你是做光刻机照明吗

不是的，就是最近老师问道这类似的问题，然后我也不太清楚

Oeback · 发表于 2022-3-2 08:44

Misszy 发表于 2022-2-28 14:01
均匀性数值，其实还与你均匀性计算方式有关,我们采用的是画面最小除以最大，一般实测中80%以上就可以了，设 ...

谢谢啊，主要想知道这样的匀光系统是什么因素制约了匀光均匀度的提升

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