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[技术文章] ZEMAX设计光谱仪

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    发表于 2021-11-29 14:23 | 显示全部楼层 |阅读模式
    本帖最后由 syc 于 2021-11-29 17:26 编辑

    ZEMAX设计光谱仪
    • 1.简介
    • 2.设置
    • 3.验证
    • 4.光谱分辨率和衍射极限

    1.简介
    光谱仪(Spectrometer)是一种测量光强随波长分布的仪器,用途十分广泛。本节要仿真的是一个LGL的光谱仪,LGL光谱仪的结构如下图所示,主要包括两个透镜和一个衍射光栅。

    点光源通过准直透镜变为平行光,接着在衍射光栅上按照波长不同被打散,然后再汇聚透镜上又被重新汇聚到探测器(像面)上,就可以得到光强按照位置的分布,而位置与波长是相关的,最终就可以得到光强与波长的分布关系。
    光栅衍射的原理如下图所示:入射光和散射光与光栅法线的夹角分别为α和β。两个缝隙之间的光程差可以计算如下:

    如果让每个Δs的值刚好为一个波长,那么我们可以计算得到

    这个公式说明了散射光的角度与波长的关系,它是一个仅与λ有关的函数,d和α均已知。光栅衍射效率等可以在这篇文章中看一看。Simulating diffraction efficiency of surface-relief grating using the RCWA method.

    如果选用反射光栅的话,通常使α和β相等,那么就会得到​​
    探测器的宽度计算:
    不同波长的光线会有不同的衍射角β,那么探测器的宽度计算可以通过下面的公式算得:



    2.设置
    入瞳直径:10.0
    波长范围 400-700nm
    第2面设置为近轴面,焦距为30mm,距离光源30mm.
    如下图所示:

    接着,我们设置d=0.5μm,α=33.367°,在第2面后边插入一个坐标间断面;X倾斜33.367°,下一面插入一个衍射光栅,刻线 2/μm,衍射级次-1;下一面再插入一个坐标间断面,X倾斜设置为跟随主光线。
    然后,在第5面后面插入一个厚度为30的标准面;在其后插入一个焦距为30的近轴面;在其后插入一个厚度为30的标准面。可以调节3D图显示颜色为波长,同时调整第6面的属性-绘图-不显示这个面,忽略这个面的光线,消除多余的光线。



    3.验证
    因为设置的是近轴表面,会忽略一些像差,所以在点列图上看到像点是无穷小的。


    打开单点光线追迹,可以看到波长1 (400nm)的第6面的角度为14.477,可以代入上边的公式验证一下。
    探测器长度,代入上边的式子可以得到L = 24.16 。我标的可能有点误差,两者差不多。


    4.光谱分辨率和衍射极限
    光谱分辨率

    光谱分辨率可以通过ZPL编程宏计算得到一个曲线。

    衍射极限,可以由艾里斑衡量:

    F#是工作F数,由焦距除以系统光圈得到,所以为了调整衍射极限,在光谱范围和光栅已经确定的情况下,可以通过调整入瞳直径和汇聚透镜的焦距实现。入瞳直径越大,F#越小,艾里斑半径也越小。焦距减小可以减小艾里斑直径,并且缩小系统的体积,但是容易引入更多像差。


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    发表于 2021-11-29 16:32 | 显示全部楼层
    楼主,麻烦您将输入公式,换成图片吧,系统的公式出来成了一堆乱码
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     楼主| 发表于 2021-11-29 17:27 | 显示全部楼层
    silence唯爱 发表于 2021-11-29 16:32
    楼主,麻烦您将输入公式,换成图片吧,系统的公式出来成了一堆乱码

    okkkkkkkkkkk



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    发表于 2021-11-30 09:03 | 显示全部楼层
    这不是ZEMAX官方文教程么?
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    发表于 2021-11-30 11:34 | 显示全部楼层
    不吃西红柿的鱼 发表于 2021-11-30 09:03
    这不是ZEMAX官方文教程么?

    可以发下原文吗
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    不吃西红柿的鱼 发表于 2021-11-30 11:39
    ZEMAX 官方链接:光谱仪设计

    ZEMAX 官方链接:https://support.zemax.com/hc/zh-cn/articles/1500005578762-%E5%A6%82%E4%BD%95%E8%AE%BE%E8%AE%A1%E5%85%89%E8%B0%B1%E4%BB%AA-%E7%90%86%E8%AE%BA%E4%BE%9D%E6%8D%AE
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    发表于 2021-11-30 11:45 | 显示全部楼层
    不吃西红柿的鱼 发表于 2021-11-30 11:40
    ZEMAX 官方链接:https://support.zemax.com/hc/zh-cn/articles/1500005578762-%E5%A6%82%E4%BD%95%E8%AE ...

    嗯嗯,这个确实都是理论,谢谢了
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    发表于 2021-12-6 19:59 | 显示全部楼层
    你好,我想请问一下,我用zemax设置一样的,为什么衍射光栅的衍射角不能设置主光线,提示是,主光线跟随无法聚焦,不知道您有没有遇到类似的问题。
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     楼主| 发表于 2021-12-6 22:10 | 显示全部楼层
    Jewel 发表于 2021-12-6 19:59
    你好,我想请问一下,我用zemax设置一样的,为什么衍射光栅的衍射角不能设置主光线,提示是,主光线跟随无 ...

    你看下我写的另一个帖子 DMD的,感觉跟你说的有点像

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    发表于 2021-12-7 09:29 | 显示全部楼层
    好的,已解决
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