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1) 元件偏心公差TEDX（TEDY）和倾斜公差TETX（TETY）。元件偏心公差表示光学元件的光轴相对机械轴的横向偏移量，元件倾斜公差表示光学元件的光轴相对机械轴的倾斜量。如图1.1是元件偏心和图1.2是元件倾斜。 光学元件的偏心和倾斜是由光学元件与机械件之间的配合决定。假设光学表面是完美的（表面偏心和倾斜在表面公差里处理），那么元件直径和机械件的公差就决定了偏心和倾斜公差。在生产中，镜片的直径要做负公差，机械件的口径要做正公差（这样镜片才能装进去），以此来估算元件偏心公差。如图1.3，若直径为18mm，机械件公差取H7，光学公差取g6，那么最大偏心为（H7-g6）/2=（18+17）/2=17.5um。因此直径20mm左右的系统，一般机械件孔径取+20um，元件直径取-20um，如此最大偏心为0.02mm，以此来做公差分析的初值。机械孔边缘的垂直度（同轴度）决定了倾斜公差，一般其波段在20um以内，即元件倾斜最大公差为atand(0.02/d)，孔径取20mm角度为0.057°；孔径边缘的最高和最低点不一定在一条直线上，平均而言元件倾斜在10um左右，即倾斜公差约为0.03°，以此作为公差分析的初值。
2) 表面偏心TSDX（TSDY）和倾斜TSTX（TSTY），表面偏心和倾斜在镜片加工过程中一般都体现在定心磨边上。即偏心和倾斜公差是按定心磨边时的跳动量来算。表面倾斜的另一种表达方式是TIRX（TIRY），其与TSTX的关系为TST=atand(TIR/d)。对于具有表面倾斜的透镜，可以把它看成一个完美透镜和一个薄玻璃光楔的组合，定心时的跳动量取0.01mm，设镜片焦距f取20mm。那么偏心量，即等于0.029°。对于具有表面偏心的透镜，同样把它看成一个完美透镜和一个薄玻璃光楔的组合。一般偏心量约等于边厚差，即偏心量取0.01mm。因为定心的跳动是表面偏心和倾斜的综合表现，所以初始倾斜0.03°和偏心0.01mm算是很宽松的公差了。若公差分析过程中发现其中有敏感参数，那么可以把具体的镜片用zemax模拟偏心与倾斜，其本质是使跳动量小于0.01mm，然后找出偏心和倾斜量，如图2.1和图2.2所示。（偏心仪的跳动量就是镜片近轴像点的偏移量，例如可以设置一个表面倾斜，然后看它的近轴像点相对于没有倾斜的近轴像点的移动量；找出近轴像点移动量是0.01mm的表面倾斜就是TSTX，近轴像点移动量是0.01mm的表面偏心就是TSDY）。
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发表于 2021-4-7 11:45
发表于 2021-4-7 15:20
