第十三讲 四分之一波片DUV系统

dannie

补充内容 (2021-4-8 10:28):
• 在图中，晶圆片在左端，成像光学器件在右端。激光从底部(图中未
显示)进入到27号表面的立方体，该立方体以45度角进行偏振反射。
它在y方向上是极化的，并在立方体中强烈反射。
• 然后它继续向左移动，直到到达表面7的元件，如图所示。
• 该元件由两块组成，形成一个四分之一波片(QWP)，由石英制成，是
强双折射的，这意味着在两种偏振情况下的折射率是不同的。其理念
是，波前应该在一个偏振方向相对于另一个偏振方向延迟1 / 4波。

dannie

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