有关DOE（衍射光栅）的制造

刘氏二小生

首先是衍射光栅的仿真到制造一整套 不只是单单仿真！！！ 1.因为现在项目需要 要是用DOE 但是较好的DOE要150左右一片（大家不要说不贵 老板觉得超过100的都是贵的） 就要我去自己制造DOE 请问那些软件比好 VirtuaiLab 已经用过了 DEMO版的 没办法导出.gds作废了 还有没有其他可以使用的软件。
2.仿真完的结果如何和加工对接 这个有懂的大佬吗 我非常想知道

dhf19822

试试DOE Master, LightSoft的

Gavin_1

1.FDTD solution，Rsoft都可以实现对DOE的仿真与设计。
2.仿真完的结构可以输出GDS文件提供给加工商，加工商会根据自身的工艺能力判断制备可行性与成本。

dhn85

DOE的制造是纳米压印技术，是半导体技术，这个打样和加工都是微纳加工，打样的价格估计几十万，生产的设备估计几百万吧 。主要是和面积有关，另外virtuallab有盗版的，可以找找看。

cc1234

dhn85 发表于 2020-12-29 18:28
DOE的制造是纳米压印技术，是半导体技术，这个打样和加工都是微纳加工，打样的价格估计几十万，生产的设备 ...

DOE不能全说是纳米压印，纳米压印是你生产或者说量产时用的微纳技术。举例：微透镜阵列目前激光直写，投影曝光配合热熔比较多；我们用的手机后壳炫彩色其实就是些微纳结构对光的作用。这些大批量复制投产会使用纳米压印。纳米压印中目前主流是紫外纳米压印，热压和气压型用的很少了。说到光栅，光栅有贵有便宜，比如平面光栅几千一片足够了；好一点的平面闪耀光栅长光所和苏大做的成熟，苏大用的全息离子束刻蚀法，长光机械刻划做大平面光栅很牛，这些打样费确实会上到10万加；更难的是凸面闪耀光栅，一片得六位数，这些苏大和长光所做的算国内比较成功的，其他都是国外，这样就是offner或者dyson光谱仪一直以来除了装调外的一个很大的难点。另外最难的凸面光栅也可用纳米压印，但是无法量产，因为良率很低很低。微纳光学一套下来几百万可能不够：不算超净间的费用，首先涂胶机，然后烘烤机，再激光直写（贵点的灰度光刻，甚至电子束光刻），再显影槽，再老化机，再纳米压印机，有时甚至要刻蚀机转移结构等等。

yhl

Gavin_1 发表于 2020-12-21 18:56
1.FDTD solution，Rsoft都可以实现对DOE的仿真与设计。
2.仿真完的结构可以输出GDS文件提供给加工商，加工 ...

你好，请问用FDTD solutions 来仿真DOE的话，通常是仿真整个口径嘛？感觉口径要是几个mm量级的话，用FDTD solutions的话计算量太大了。我需要一个能提供聚焦功能的二元光学面，口径在3-5mm量级，请问有什么办法仿真嘛？

感谢

Gavin_1

yhl 发表于 2022-3-19 15:46
你好，请问用FDTD solutions 来仿真DOE的话，通常是仿真整个口径嘛？感觉口径要是几个mm量级的话，用FDTD ...

你这个口径量级FDTD已经难以仿真了，我仿过的最大口径也就在100微米量级，据我所知二元光学可以用选择单元结构仿真衍射效率，几何光线传输可以用zemax中的二元面仿真，百微米口径的二元光学整体仿真用FDTD应该可以办到的，就是中间需要编写结构群的Script文件。

不吃菠菜

GDS文件生产后，根据您这边设计出来的线宽来选择光刻方式，激光直写，步进光刻，EBL，光刻费用是比较高的，尤其是1um以下，DOE的加工和普通半导体加工不一样，孤岛的形貌要求挺高，

wlh

Gavin_1 发表于 2022-3-21 08:46
你这个口径量级FDTD已经难以仿真了，我仿过的最大口径也就在100微米量级，据我所知二元光学可以用选择单 ...

您好，我现在想用二元面来仿真doe的分束效果，即半径为2mm的光经doe后，1级，2级，3级等衍射光斑的位置情况，不知道这能不能用二元面来仿真？十分感谢。