Applied Optics 第59卷，第十二期-信息光学-基于卷积的微镜阵列分配算法

tyszju

Vol. 59, No. 12 / 20 April 2020 / Applied Optics

基于卷积的微镜阵列分配算法

Zhifan Liu,1 Chaoxing Yang,2 Yang Bu,2,* Sikun Li,2 Jianhua Zhang,1 Xiangzhao Wang,2

AND Gang Sun3

摘要：自由形式照明是28 nm及以后技术节点中必需的技术之一。微镜阵列（MMA）由于其可编程性和高自由度，已广泛用于光刻等自由形式的照明系统中。MMA分配算法是生成目标自由形式照明源的关键。它的计算速度和精度会影响目标照明源的生成速度和精度以及直接生成的照明光瞳的处理窗口大小。在本文中，提出了一种基于反卷积的MMA分配方法。针对自由形式的照明源可以直接获得去卷积和量化过程。如果没有迭代优化过程，所提方法的速度比传统方法快得多。数值模拟结果表明使用该方法生成的目标源与MMA源之间的差异为小于0.2％。与目标源的过程窗口损失相比，MMA的过程窗口损失所提出的反卷积方法产生的信号源小于0.5％。与传统的分配方法相比，该方法的运行时间小于0.05 s，提高了1463倍。

文章地址：https://doi.org/10.1364/AO.389891