Applied Optics 第59卷，第十二期 单点金刚石车削中真空卡盘孔排列对大孔径KDP透...

前途无量

应用光学第59卷，第十二期,第3619-3623页(2020)https://doi.org/10.1364/AO.382447

       单点金刚石车削中真空卡盘孔排列对大孔径KDP透射波前的影响

摘要

由于磷酸二氢钾的严重边缘效应（KH2PO4KH2PO4），用单点金刚石车削(SPDT)制造的KDP常常导致高功率激光系统透光率波前的不合格。本文通过对吸孔结构的理论分析和晶体元件真空夹头条件下压力分布规律的分析，通过飞切实验验证了吸孔结构对透射波前均方根梯度(GRMS)的影响。采用新设计的真空卡盘，有效地提高了真空夹持质量，抑制了SPDT的边缘效应。在相同工艺参数下，透射波前GRMS的精度提高了25%左右。

补充内容 (2020-5-5 09:33):
原文：https://www.osapublishing.org/ao/abstract.cfm?uri=ao-59-12-3619