测量工具聚焦显微镜的轴向分辨率

ZJcust3792

想要通过技术手段来测量激光共聚焦显微镜的轴向分辨率，在看文献过程中也查过关于轴向分辨率的计算方式，但是在实际应用中，没有一个科学的测量手段，再此项请教各位，怎么测量这种实时成像的共聚焦显微镜呢？

天空很蓝

楼主，你这个共聚焦显微镜的景深有多大呢？没有用过共聚焦显微镜，从测量角度来说，轴向分辨率的话，举个例子，你找一个5um高度的一个台阶，如果这个高度能分辨出来的话，是不是说明你的轴向分享率是有5um的？

ZJcust3792

我是打算用压电陶瓷，来测量轴向分辨率，使压电陶瓷每一步都在2微米，您看我这样的测量手段可以吗？

hunter123

用干涉的方法测，你的共焦光路作为样品臂，然后搭一路参考臂。然后物面上放一面反射镜，反射镜返回的信号光与参考光干涉，对干涉信号进行FFT，出来的PSF半高宽就是系统的轴向分辨率。这边需要注意参考臂和样品臂的色散补偿，色散不匹配会导致轴向分辨率的展宽。

卡西

hunter123 发表于 2019-12-12 13:24
用干涉的方法测，你的共焦光路作为样品臂，然后搭一路参考臂。然后物面上放一面反射镜，反射镜返回的信号光 ...

求教下，共聚焦的话，线共聚焦，照明端如果是激光光源，便于把把转换为线光源，但如果是led光源如何转换为线光源，这方面不知道有了解没？

hunter123

卡西 发表于 2019-12-12 13:29
求教下，共聚焦的话，线共聚焦，照明端如果是激光光源，便于把把转换为线光源，但如果是led光源如何转换 ...

一般像共聚焦显微镜，用的是激光或者是SLD光源，属于点共焦（一般是光纤出光，单模光纤纤芯一般只有几个或者十几个微米），到达被测物是点光源，然后X，Y二维振镜扫描；至于LED变成线光源，可以用柱面镜或者鲍威尔棱镜，收成一条线，然后只需要一个方向扫描即可。

卡西

hunter123 发表于 2019-12-12 14:11
一般像共聚焦显微镜，用的是激光或者是SLD光源，属于点共焦（一般是光纤出光，单模光纤纤芯一般只有几个 ...

激光或者光纤光源是比较好处理一些，Led的话，能量利用率是个问题

hunter123

卡西 发表于 2019-12-12 14:24
激光或者光纤光源是比较好处理一些，Led的话，能量利用率是个问题

LED的话需要照明设计，尽量均匀照明，然后针孔或者小孔去截取，形成点光源；准直后用柱面镜用于形成线光源。

ZJcust3792

天空很蓝 发表于 2019-12-12 07:25
楼主，你这个共聚焦显微镜的景深有多大呢？没有用过共聚焦显微镜，从测量角度来说，轴向分辨率的话，举个例 ...

您指的这个景深是理论值还是实际呢？

ZJcust3792

hunter123 发表于 2019-12-12 13:24
用干涉的方法测，你的共焦光路作为样品臂，然后搭一路参考臂。然后物面上放一面反射镜，反射镜返回的信号光 ...

您这里指的FFT，我有点不太明白，这个测试方法，我大致理解了，但是现在这台设备是实时成像的。您能细致的跟我说一下么，谢谢！