镜头15um脱膜和15um外尘异物区分打光或光学系统求助

加菲不会飞

大家好！目前正在进行一个项目，遇到打光困难，希望能求助各位。被检测对象：球面或非球面镜头产品，视野20mm；
检测要求：将镜头表面约15um脱膜与15um外尘异物区分开；
缺陷产生原因：脱膜--镜片表面镀膜脱落；外尘异物--工序环境洁净度不合格，空气中异物粘附到镜片表面；
当前困难点：由于两者尺寸很小，都容易对光产生散射，打光拍图后都是亮点，导致无法区分种类，只知道是缺陷。
求助点：采用何种打光方式或光学系统能将两者区分开,明确缺陷种类。

qiuyu_lzl

你目前用什么设备来观察的？

加菲不会飞

qiuyu_lzl 发表于 2019-10-29 09:38
你目前用什么设备来观察的？

目前是通过显微镜区分的，但是要搭一套机器视觉光学系统替代。

10105

加菲不会飞 发表于 2019-10-29 09:52
目前是通过显微镜区分的，但是要搭一套机器视觉光学系统替代。

显微镜观察是怎么区分他们的呢？最近我在做1MM左右滤波片检测，会有镀膜损坏和灰尘等异物区分不开的情况。人工检测时他们是超声清洗后又在显微镜下擦洗然后检测。。。

ZYZ

加偏振试试看是否有区别

加菲不会飞

q125028120 发表于 2019-10-29 10:18
显微镜观察是怎么区分他们的呢？最近我在做1MM左右滤波片检测，会有镀膜损坏和灰尘等异物区分不开的情况 ...

和你的类似，也是先通过物理方法，然后显微镜确认。

加菲不会飞

ZYZ 发表于 2019-10-29 13:40
加偏振试试看是否有区别

这个是基于什么原理呢？因为两者都有漫反射或散射分量，如何区分呢？

ctian

可以试试偏振光学的方法，在光源前加个起偏器（线片或者圆偏），取给偏振光源出来；在相机前加个线偏片（linear polarizer）。 如果脱膜不仅有散射，哪怕存在一点投射，最终形成的偏振方向变化和异物造成的是不同的。期待你的结果，如果你能发下图更好了。

ZYZ

加菲不会飞 发表于 2019-10-29 19:50
这个是基于什么原理呢？因为两者都有漫反射或散射分量，如何区分呢？

不同物质对P光和s光的散射可能不一样

10105

加菲不会飞 发表于 2019-10-29 19:50
这个是基于什么原理呢？因为两者都有漫反射或散射分量，如何区分呢？

我是觉得一种照明方式下不太好区分他们，他们会不会在不同照明方式下显现。这是我只用穹形灯暗场散射和暗场散射加同轴光拍的，似乎有点不一样。。但还没不清楚是不是区分了一部分异物和镀膜缺陷。