显微镜公差分析

月痕酱

请问完成一个衍射极限显微物镜后，公差分析应该用什么做标准？我看邓老师帖子是看MTF0.3位置所对线对然后公差分析衍射mtf平均，公差结果让90%样品大于MTF0.3的一半，也就是大于0.15这样方法可以吗

然后下图的公差设置在显微物镜算严吗

今天也要学光设

有一个公差分析的表，可以对着看一下

戒为良药i

波前标准，不规则度用TEZI,你现在的不规则度公差应该是太紧了，元件倾斜太松了，复消色差的话，可以考虑收紧阿贝数公差

戒为良药i

今天也要学光设 发表于 2026-4-22 17:04
有一个公差分析的表，可以对着看一下

这个没什么用，不同加工厂的工艺装配都不一样，这个应该是30年前李世贤的书里的表吧，感觉太过时了

HLU

对于显微物镜，可以先看看敏感面是哪些。非敏感面偏心0.02，倾斜0.033就够了；敏感面偏心0.01，倾斜0.0167；至于装配公差：主动定心可以做到偏心0.01mm，倾斜0.008以下；（综合考虑成本）

月痕酱

HLU 发表于 2026-4-22 17:24
对于显微物镜，可以先看看敏感面是哪些。非敏感面偏心0.02，倾斜0.033就够了；敏感面偏心0.01，倾斜0.0167 ...

好的，再请问下这种衍射极限系统用什么标准来衡量最后的公差结果呢？我目前是看mtf0.3线对公差前后的mtf变化，看能否百分九十大于0.15？

还有个问题就是我看邓老师他们帖子敏感面偏心和倾斜只需要设置一个，你这里敏感面偏心0.01，倾斜0.0167是指需要同时设置吗

Winfred

我们常用的：surface tilt X/Y = 0.5'（0.00833deg）, power=3, IRR=0.3, decenter和tilt等效，所以不选。Element tilt = 0.5‘，Element decenter = 0.005；材料大致分3挡位：(1) nd=0.0005, vd=0.5%,(2)nd=0.0003,vd=0.3%,(3)nd=0.0001,vd=0.1%(需要挑料)，这个公差应该是国内厂商在保证良率的情况下能做到的极限了。至于你说的公差结果，这个是根据客户标准来定的，公差之后确保某个线对下的MTF不要掉太多就好，在哪个线对下分析，分析MTF avg还是MTFT，以及公差之后要满足MTF>多少这些标准一般由客户提。

HLU

我是同时设置的，在实际上X和Y方向都会有偏差，给客户展示的肯定要留有余量的，实际做出来良率会更高一点。另外你说公差之后怎么看MTF，我一般不看这个，我只看各个面的灵敏度；假设在200lp/mm的衍射极限是0.78，你的设计值是0.75~0.76左右，加上所有公差，不要有任何面的公差灵敏度MTF低于0.7即可，这样做出来不会问题。

Loser

Winfred 发表于 2026-4-23 10:19
我们常用的：surface tilt X/Y = 0.5'（0.00833deg）, power=3, IRR=0.3, decenter和tilt等效，所以不选。E ...

您好，所有的物镜都可以用上面这套表面和元件公差嘛？几微米的偏心公差如何做到呢

StarBling

戒为良药i 发表于 2026-4-22 17:22
这个没什么用，不同加工厂的工艺装配都不一样，这个应该是30年前李世贤的书里的表吧，感觉太过时了
...

请问前辈，现在的加工技术公差可以更紧一些吗？比如这个表上的Q1公差，是基本上可以实现吗