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LAMpAS宣布发布首款全球生产的DLIP多边形扫描仪,用于以高吞吐量生产激光纹理表面

2022-10-23 14:06| 发布者: 光执事| 查看: 1520| 评论: 0

摘要: 在欧盟资助的LAMPAS项目的框架内,ScanLab公司和德累斯顿工业大学开发了一种高速多边形扫描仪单元,该单元能够通过利用干涉原理产生周期性表面结构。该设备能够制备特征尺寸约为3.5μm的图案,这比使用红外波长操作 ...

在欧盟资助的LAMPAS项目的框架内,ScanLab公司和德累斯顿工业大学开发了一种高速多边形扫描仪单元,该单元能够通过利用干涉原理产生周期性表面结构。该设备能够制备特征尺寸约为3.5μm的图案,这比使用红外波长操作的传统多边形扫描仪小约8倍。


多边形扫描仪系统实现了直接激光干涉图案化(DLIP)技术,该技术通过几种激光束的组合,可以操纵和控制激光能量的强度分布,其分辨率可达亚微米范围。特别是,将两个激光束组合在一起产生了线状强度分布,其中线之间的横向距离可以通过光束之间的截取角来控制。


       “为了产生具有短空间距离的图案,需要较大的拦截角。使用传统的多边形扫描仪是无法实现的。此外,与紫外线辐射相比,更长的激光波长需要更大的角度。因此,我们需要开发一种非常特殊的光学排列,以获得所需的角度,ScanlabRonny De Loor说。


       “这些小功能是必要的,因为我们想要改进的材料的功能可以通过减小其尺寸来增强。这通常是自然例子的作用,德累斯顿工业大学的安德烈斯·拉萨尼教授和LAMPAS项目协调员补充道。


  由于高通量制造也需要高激光功率,因此在LAMPAS项目中还开发了一种独特的特殊激光设备,现在正在与DLIP-Polygon头结合使用。设计一种能够接收由脉冲激光源提供的超过1 kW光功率的光学配置是一项具有挑战性的任务,脉冲持续时间在皮秒范围内。到目前为止,这还没有完成,罗伯特·鲍曼博士解释说,他也来自德累斯顿工业大学。


  同样值得注意的是,LASEA在比利时安装的最终系统还包括两个具有独立技术的监测系统,能够确保结构化过程的稳定性以及所获得的表面特性的质量。因此,这种创新策略旨在及早发现不稳定性和故障。


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