请选择 进入手机版 | 继续访问电脑版

光学社区

 找回密码
 注册
会员须知
会员须知
实用帮助
实用帮助
光学社区 首页 资讯 查看内容

用于遥感和成像的微型红外光谱滤光片

2022-6-7 14:45| 发布者: everydayness| 查看: 341| 评论: 0

摘要:   易于现场部署的芯片内置显微分光计技术要求机械坚固性,例如机器人车辆和机载无人机  FPI 的概念表示形式,其中红外信号进入法布里-珀罗光学腔,并且只有 FPI 腔内内部发生干涉的波才形成传输信号。  光学遥 ...
  易于现场部署的芯片内置显微分光计技术要求机械坚固性,例如机器人车辆和机载无人机

  FPI 的概念表示形式,其中红外信号进入法布里-珀罗光学腔,并且只有 FPI 腔内内部发生干涉的波才形成传输信号。
  光学遥感是必不可少的,在许多应用和行业都有很高的需求。更重要的是,电磁波谱的长波红外区域(LWIR)中的高性能波长判别(波长范围从8 μm到12 μm)对于民用和军用应用都非常有吸引力。特别重要的是实现具有光谱选择性的芯片全无源热成像,允许远程目标识别,而无需任何光源进行照明,因为LWIR光谱波段的辐射仅由物体通过室温发射的。
  微型机电系统(MEMS)通过将基于MEMS的法布里-珀罗干涉仪(FPI)与单点红外探测器或焦平面成像阵列混合,开发用于光学遥感的轻型现场便携式光谱系统。FPIs提供与薄膜表面微加工MEMS兼容的光谱仪架构。这些FPI由两个反射镜组成,在MEMS实现中,它们通常由一对分布式布拉格反射器(DBR)组成并由光学腔隔开。
  “SPIE Journal of Optical Microsystems“上的一项新研究进一步了解了基于MEMS的光谱系统实现。据报道,在LWIR区域运行的基于MEMS的大面积窄带固定腔FPI的概念验证已应用于便携式微光谱仪的开发。这项工作首次报告了低折射率BaF2薄膜与Ge高折射率薄膜在此类应用中的使用。
  此外,使用Ge和BaF2光学层制造的三层结构的厚剥离工艺实现了极其平坦且无应力约3μm厚的独立式分布式布拉格反射器(DBRs)。对于10-20nm水平的独立式表面微加工结构,在数百微米的大空间尺寸上实现了峰对峰的平坦度。制备的FPI显示具有约110 nm的线宽和约50%的合适峰值透射率值,这满足了它们在可调谐的基于MEMS的LWIR光谱传感和成像应用中的使用要求,这些应用需要窄线宽的光谱判别。

已发布的α系列 FPI 的光学显微图像。缺口尖角的裂纹扩展是由于长时间暴露于氧离子体环境下。
图片来源:Gill et al. doi 10.1117/1.JOM.2.2.023502
  西澳大利亚大学微电子研究小组成员Mariusz Martyniuk教授表示:“这些小型化的片上轻量和小尺寸器件被视为未来主义的解决方案,用于简单和低成本的微型光谱远程系统,该系统在电磁波谱非常重要的热红外发射波段内工作,其中最小化重量、最小化尺寸和功率要求至关重要。
  所展示的芯片微光谱仪技术可以很容易地现场部署在众多需要机械固定性的应用中,例如机器人车辆,机载无人机(UAV)等。这与用于目标识别和空间态势感知的遥红外成像和光谱传感特别相关。



鲜花

握手

雷人
2

路过

鸡蛋

刚表态过的朋友 (2 人)

最新评论

相关分类

下级分类

联系我们|本论坛只支持PC端注册|手机版|小黑屋|光学社区 ( 粤ICP备15067533号 )

GMT+8, 2022-6-28 11:54 , Processed in 0.078125 second(s), 16 queries .

Powered by Discuz! X3.4

© 2001-2017 Comsenz Inc.

返回顶部