[已解决]【zemax公差结果分析求助】该如何去阅读分析“公差结果”

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请教一下各位前辈，该如何去读懂zemax给出的公差结果，这些结果里包含了什么样信息，且这些结果对应的数值处于什么样的水平，变化程度大小是多少是合适的、优秀的？


下面说一下具体背景和我自己的理解。

现在需要对显微物镜进行公差分析。据我了解，显微物镜相比于摄影物镜（衍射MTF平均）在做公差分析时选择的标准不同，显微物镜选择“RMS光斑半径”，这一标准也对应了要求显微物镜要求光斑大小接近系统衍射极限。衍射MTF平均可以参考在要求的截止频率处百分之多少优于某一值，那同理，我的理解是选择“RMS光斑半径”时，分析时就应该是百分之多少“大于”某一光斑半径，且这里“>”应该代表大于而不是优于，例如如图所示，在90%的情况下光斑半径是大于3.4um，仅仅只有10%的情况下是大于0.7um的，也就是说只有10%是接近系统衍射极限的。而且我发现，我这里的报告，相比于名义的变化不在同一个数量级变化，这意味是不是引入公差后效果是非常不好的，毕竟都超过一个数量级了。不知道我的理解对不对，还请前辈们详细指导一下在选择“RMS光斑半径”标准时该如何去分析公差结果。

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LIJHao.

2025-7-16 14:04

是的，这个意思是有90%的小于3μm，也就是优于3μm的。你这个公差等级还是给的太宽松了，所以是很差，那10%的也只是小于0.7μm，你的艾里斑半径只有0.544μm，公差范围应该收一收

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LIJHao.

是的，这个意思是有90%的小于3μm，也就是优于3μm的。你这个公差等级还是给的太宽松了，所以是很差，那10%的也只是小于0.7μm，你的艾里斑半径只有0.544μm，公差范围应该收一收

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LIJHao. 发表于 2025-7-16 14:04
是的，这个意思是有90%的小于3μm，也就是优于3μm的。你这个公差等级还是给的太宽松了，所以是很差，那10% ...

是的，差不多收到Q2左右基本上就能够在80%小于0.6um了。

jiu省通衢

Q2具体等级是多少？