追光课堂 | 压电平移台的主要参数介绍

联合光科

前段时间我们一起了解了《压电纳米位移台是如何工作的》，主要介绍压电位移台里压电马达的种类和原理。回顾一下：由压电马达驱动的位移台一般把马达安装在基座，而动子则是位移台台面的一部分。没有传统电磁马达(伺服或步进电机)驱动的位移台所需的丝杆或蜗轮蜗杆组传动部件，是一个直接驱动，没有回程间隙的驱动方式，有一定自锁能力。由于压电陶瓷的形变量极小，可以达到非常微小的平台位移运动增量，可以说压电马达驱动的位移台是名副其实的纳米位移台。

接下来我们将着重讲解压电平移台的主要参数。
                                                                     
压电平移台的通用参数  

行程:
在保证精度的情况下，运动系统的运行距离。联合光科压电平移台标准品目前的最大行程是±150mm。

最大负载：
对于线性平台而言，这是指水平安装时，可施加给平台的最大负载。    且质量负载中心位于平台的中心，垂直于运动轴和平台表面。联合光科压电平移台标准品目前的最大负载是20kg。

最大速度：
最大速度是指在额定负载的状态下，系统能够持续稳定运行的最大速度。对于短行程位移台，其行程的限制也是制约运动系统最大速度的关键影响。联合光科压电平移台标准品目前的最大闭环控制速度是50mm/s，开环运行可达100mm/s。

微量运动&纳米级控制参数  

最小步距:
最小步距是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。是实际当中能够实现、经过反复验证并且可重复的最小运动增量。这是表现压电平移台是真正纳米平移台的关键指标。联合光科压电平移台标准品目前的最小步距是10nm。

双向重复定位精度:
双向重复定位精度是指，多次从两个方向移动到指定位置的重复性指标。这也是位移台常用并且重要的，表征重复性的参数。联合光科压电平移台标准品目前的最小双向重复定位精度是±100nm。行程对重复定位精度有一定影响，和在毫米行程内，可达到+/-50nm或更小。

运行轨迹稳定性方面参数  

运动平行度:
也称平行度、平直度、平面度等，是指非轴向线性误差中的垂直方向的分量。将固定于基准平面(如隔振平台或大理石平台)上的滑台从基准点(行程端沿一定方向以一定间隔或全行程驱动电动位移台并定位)，在相应定位位置上，分别测量垂直方向的差异量，我们定义其最大差值为运动平行度。联合光科压电平移台标准品目前的运动平行度＜10μm。

直线度:
运动直线度是指非轴向线性误差中的水平方向的分量。将固定于基准平面(如隔振平台或大理石平台)上的滑台从基准点(行程端到全行程运动，沿一方向以一定间隔(通常选3~10 个点，尽可能均匀分布在全行程范围)依次驱动电动滑台并定位，在相应定位位置上。分别测量水平方向的差异量，

我们定义其最大差值为运动直线度。联合光科压电平移台标准品的直线度在0-50行程内<2um，50-150行程<4um，更大行程的直线度约<10um。

    联合光科的双向重复定位精度，运动平行度，直线度检测执行标准，符合GB/T 17421.2-2000（几何精度检验）。测试环境：恒温恒湿环境，温度（27.5±1）℃，湿度（61±5）%。位移台安装在气浮隔振平台正常工作状态，实验室中无影响测量精度的气流扰动、灰尘颗粒、振动和较强磁场波动。测量仪器：激光干涉仪，以上是压电平移台的主要参数介绍，欢迎大家咨询！

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