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光刻镜头光学设计求助！

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希儿希儿希
  • TA的每日心情
    开心
    2025-6-3 02:44

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    [LV.2]偶尔看看I

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    小白

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    发表于 2025-5-23 11:32 | 显示全部楼层 |阅读模式
    各位大佬好，本人想学习浸液微缩投影镜头的一些仿真，求问各位大佬是否有光刻镜头的相关仿真，十分感谢

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    金木研
  • TA的每日心情
    慵懒
    2024-8-28 07:30

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    [LV.5]常住居民I

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    发表于 2025-5-23 13:23 | 显示全部楼层
    光刻镜头就是双远心、光学总长很长的镜头，属于最简单的一类
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    jnu-cgl
  • TA的每日心情
    开心
    2025-6-17 08:43

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    [LV.Master]伴坛终老

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    发表于 2025-5-23 14:47 | 显示全部楼层
    金木研 发表于 2025-5-23 13:23
    光刻镜头就是双远心、光学总长很长的镜头，属于最简单的一类

    光刻物镜，不应该是最复杂的吗？
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    金木研
  • TA的每日心情
    慵懒
    2024-8-28 07:30

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    [LV.5]常住居民I

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    发表于 2025-5-23 16:29 | 显示全部楼层
    jnu-cgl 发表于 2025-5-23 14:47
    光刻物镜，不应该是最复杂的吗？

    哦，你说类似显微镜那种晶圆曝光镜头？我以为是PCB曝光镜头。那种有难度但不是最难的，最难的是广角大光圈低畸变
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