大家有没有提高微米&纳米级视觉对位方案？

一蓑烟雨任平生 · 发表于 2024-5-7 13:17

纳米压印视觉领域，上下两个晶圆使用Mark点视觉对位，如何提高精度，提升到1μm或者纳米级精度，求助各位大佬。

Dolleon · 发表于 2024-5-7 14:42

如果是Tips的话，网上能搜到很多，比如这种，如果是成熟的方案，目前可见光的机器视觉到1um精度就已经是已知极限了，再高我就只听说光栅尺之类的能做到。另外这个半导体制造话题建议还是小心点。

sgwyuio · 发表于 2024-5-13 23:41

不太了解纳米压印但功率0.1mW线宽度为3um左右的十字线激光配合电子显微镜对齐精度应该可以在0.5um左右就是效率比较低

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