超表面光学（微纳光学）入门

shuaishuaidong

最近在弄DOE和超表面，基础很重要，感谢资料分享、

meta0713

一蓑烟雨任平生 发表于 2024-7-18 11:39
zemax 我看有的说用二元面2的，然后导出相位高度，再往后如何进行呢，如何利用激光直写实现超透镜光刻？
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准确的来说是得到相位的二维分布，然后超表面设计中有许多可以调控相位的方案，比如说控制纳米柱的宽度来调控相位的传输相位、调控纳米方块的旋转角度来调控相位的PB相位等等，将这些空间纳米柱的设计与zemax中二元面2设计的相位相匹配就可以完成设计。完成设计后，可以通过激光直写、EBL等光刻方法实现加工。超表面和DOE器件的差异在于，超表面的高度目前大都是相同高度，但是每一个周期内的纳米结构形状不一样，DOE很多都是通过刻高度不同的结构来实现的。